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沉积速率与压力关系如何？

2022-08-03 09:27:38

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答：一般随着放电的压力增高，离子流增大，溅射速率增加，从而沉积速率亦会增大，但放电压力过高，由于背散射增加，溅射粒子易于返回靶的表面，并且压力过高时，平均自由程短，电子碰撞电离的几率下降，所以又会出现沉积速率下降的趋势。故总的来说，随着放电压力的增大，沉积速率先增大，当达到一Z大值时又开始下降。